SiO_2分散体及硅溶胶性能研究

©1994-2010ChinaAcademicJournalElectronicPublishingHouse.Allrightsreserved.http://www.cnki.net·试验研究分散体及硅溶胶性能研究潘鹤林陈平方图南王相田华东理工大学介绍了仇分散体与硅溶胶的制备方法,比较了两者的性能。详细讨论了无分散体粘度与浓度、值之间的关系,无分散体浓度与陈化时间之间的关系,以及仇分散体苍电位与之间的关系。前言本世纪年代中期,半导体基片抛光大部分沿用机械抛光,所得的镜面表面损伤极其严重。一年和提出姚溶胶和凝胶抛光后,以姚为代表的化学机械抛光工艺技术逐渐代替传统的机械抛光卜,〕。姚溶胶有两种制备方法,即凝聚法和分散法。利用在溶液中的化学反应所生成的超微粒,通过生长、成核,制得姚溶胶的方法为凝聚法利用机械分散将微粒在一定条件下分散于水中制得姚溶胶的方法即分散法〔‘·,〕。姚溶胶的性质比较复杂,姚的浓度、粒子大小、比表面积、体系的分散度、值、温度、熟化程度及体系中的微量组分的性质等因素都影响姚溶胶的性能“一”了。本文利用分散法制得一种高性能硅溶胶,并对其基本性能进行了研究。速分散机上,称取一定量的去离子水加入杯中,开动高速分散机,再称取一定量的气相飞粉末,连续加到杯中,在塑料杯上盖卜一塑料膜,以防水分蒸发和粉末飞扬。姚粉末加完后,补加一定量的去离子水,调节高速分散机速度,分散,使伙充分分散,制得毛水分散体。水溶胶的制备将上述新制的姚分散液陈化过夜后,高速分散,加入添加剂溶液,继续高速分散后,用目滤网过滤,得到性能良好的硅溶胶。仇分散体和硅溶胶性能用比重瓶测定和工艺制得的各浓度姚分散体和硅溶胶的密度毛细管鸟氏粘度计测定粘度用以下公式计算姚水分散体和硅溶胶的密度和粘度。—姚水分散体或硅溶胶流出毛细管乌氏粘度计所需时间,—测定条件下水流出毛细管乌氏粘度计所需时间,。由式可以得到水分散体或硅溶胶的对比粘度,今,一二‘肠利用测得的水分散体和硅溶胶的密度,按下式将质量百分比浓度叭换算成姚的体积百分比浓度甲、叭一丽从、纵内性一叭下一式中内性为颗粒的真密度根据求出的,和,,,得到各浓度时的值,求得丛三一叭关系,外推得、、尹、声,且,一护‘、了、实验部分主要设备和试剂高速分散机一酸度计电位仪型流变仪比重瓶毛细管乌氏粘度计。盐酸,,分析纯才一姚,美国公司产,比表面积士“,上海电化厂产,