半导体工业废水, 废气中砷, 磷, 硫, 氟, 氯及氮氧化物和重金属的综合治理

半导体工业废水, 废气中砷, 磷, 硫, 氟, 氯及氮氧化物和重金属的综合治理半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物和重金属的综合治理闻瑞梅(同济大学,上海200092)摘要:本文介绍了在半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物、重金属及各种酸的综合治理方法、工艺流程和设备,用中和絮凝沉降一体化装置,利用共生沉淀的原理处理废水.用椭圆型喷淋吸收塔,氧化剂、碱吸收治理半导体工业废气中砷、磷、硫、氟、氯、氮氧化物及各种酸.经环保部门检测均达到国家排放标准.关键词:半导体;废水;废气;治理中图分类号:TN304105文献标识码:A文章编号:037222112(2000)1120001203AComprehensiveAbatementTechnologyforArsine,Phosphorus,Sulfur,Fluorine,Chlorine,OxynitridesandHeavyMetalsinSemiconductorIndustryWasteWaterandGasesWENRui2mei(TongjiUniveristy,Shanghai200092,China)Abstract:Acomprehensivetechnologyincludingflowchartandsetupwasdescribedforpollutioncontrolofarsine,phosphorus,sulfur,fluorine,chlorine,oxynitrides,heavymetalsandvariousacidsinsemiconductorindustrywastewaterandgases.Thewastewaterwastreatedinacombinedneutralization2sedimentationsetupbasedontheprincipleofcodeposition.Adualabsorbingtower2showercontainingoxidantandalkalineabsorbantwasusedforremovingarsine,phosphorus,sulfur,fluorine,chlorineandoxynitrides.Aftera2batementtheconcentrationofpollantsanaly