直接键合硅片的三步亲水处理法及界面电特性

直接键合硅片的三步亲水处理法及界面电特性文章绾号：l∞I一973tc20∞101一。加7—02PzT／Y0．9Cao．1Ba2Cu408及A920掺杂的复合氧化物陶瓷的NTc效应‘白炳贤1。靳建华1，白涛2．徐新生1(1河南师范大学化学系．河南新多453002；2新乡市师范学校，河南新乡453∞1)擅羹：报道了压电材料P玎中掺杂超导静h．9c虬IBa2clI‘01．而超导扮中史有^锄。的苷杂。这种董奢氧化轴陶瓷的■备方法爱电导率的洲试结果，表明材料具有报强曲NTc鼓应。关t调：复音■化袖；NTc效应：电导事中田分类号：T～啦!引言目前，世界上关于复合材科的研究如火如萦．方兴未芟。复合氧化物电子功能陶瓷作为复合功能材料中的一个分支．具有证爱的发展潜力和广捐的应用市场。但对该材料的研究国内还处于发展骱殷⋯。复合氧化物电子功能庳瓷的复合机翩之一是：利用其乘积性口J．即不同特性的组分经相互作用而形成了具有另一种性髓的复音材料。复合材料是一种多相茇合体系，它可以通过不同质的组成、不同相的结构、不同含量及不同方式的复合而制备．以漪足各种用避的需要。PzT是典型的压电材料之一，h，诋1Ba2cuI岛及Yo，‰1Ba2cII‘饥+lO％(质量分数)^锄O是具有良好特性的高丁。超导材料(丁。=89．5～91．帐)【“。我们将这两种性能体系的氧化翱睁瓷进行掺杂复合．形成一系判多元复合冉瓷材料。材料具有独特的热敏感功能。在室温～940℃左右．电导率可变化3～6个数量级。具有良好的NTc效应。另外，不同组丹的样品．室温电导率可相差1～2个散量级。为了控制材料的特性参效符台一定的要求，人们将目光转移到了多组分体系。而组分的增多．将导致材料的混合不均匀，因而影响了材料特性的均匀性和一致性。为此，材料的制备工艺是一十重要环节。我们采用的是两步制各法：首先用柠檬酸蚓一9目法制各成PzT压电材辩、h，c如iB龟c地‰及h，‰lB啦c恤魄+lo％(质量分数)A鲰O体系的超导粉；再用不同的配比将PzT与超导糟进行混杂(或掺杂)。并进行固溶强化。这种复台材料的制备方法及样品独特的NTc效应．至今未见文献报道。如果能研翻出集多种功能于一体的复合功能材料．不仅有利于应用，更有利于复台材料的小型化、集成化．这是一十有特继续深入研究的课题。2实验21样品的镧备(1)PzT的翩备：按Pb(砒5Tbs)岛的摩尔配比．