液晶面板生产中含氟废水处理浅析

液晶面板生产中含氟废水处理浅析科学技术大科技2011年第01期64液晶面板生产中含氟废水处理浅析范香茹中芯国际集成电路北京制造有限公司北京100176摘要：根据现场调研，结合工程经验，对液晶面板生产废水中典型的含氢氟废水处理，给出了较优的处理工艺介绍，即一段沉淀处理工艺，其处理效果好，系统出水氟离子浓度基本达到小于20mg/L的要求。关键词：含氢氟废水工艺流程混凝沉淀近几年，在国家政策大力支持不断努力下，中国半导体企业掀起一轮前所未有的投资热潮，国内液晶面板产业制造能力发展迅速，逐步接近世界先进水平。然而关于半导体废水排放的国家和地方标准尚未出台，各厂根据地方政府要求制定排放标准，基本标准均在F-≤20mg/L范围以内。本文结合工程实例，通过调研分析，介绍目前很成熟的含氟处理工艺和常见问题及处理。1含氟废水来源液晶面板制造生产工艺复杂，生产中使用了大量的化学药品，如HF、HNO3、H3PO4、H2SO4、NaOH、H2O2、Solvent等，同时产生了大量的生产废水，其中包括含氢氟废水。2废水处理工艺流程液晶面板生产废水处理技术经历了很多的改进，但是这些改进更多地属于继承性的发展，其基本工艺技术一直未发生根本变化。目前，大多数生产厂的含氟废水处理工艺，采用混凝沉淀（二级混合反应加一级助凝加一级沉淀）的方式，处理工艺流程见图-1。含氟废水调节池浓HF调节池二级混合反应池H2SO4NaOHCaCL2PAC助凝池PAC沉淀池清水池污泥池浓缩池污泥脱水机泥饼外运PAM图1含氟废水处理系统流程序号问题表现原因分析处理方法1超声波液位计数值显示瞬间升高或降低超声波液位计假报警，因表头有冷凝水擦拭超声波液位计2沉淀池效果不好加药异常检查加药泵、管路、参数设定是否正常；检查药剂品质是否正常；检查仪器是否正常来水水质、水量异常调节来水水质、水量沉淀池排泥不畅检查沉淀池排泥泵、管路是否正常气水反冲洗沉淀池3排放口F-离子超标F-仪表故障检查F-104仪表是否正常pH曲线有异常增长检查系统Ph仪表和相关酸碱调节系统来水水质、水量异常检查来水水质曲线，是否来水异常，系统做相应调节，减少来水水质、水量波动4系统处理量减少管路、池体、泵内结垢严重定期清理管路、池体、泵原水泵低电流报警5加药点无流量加药口结晶堵塞清理加药口结晶加药管路堵塞冲洗加药管路加药泵故障维护保养加药泵加药泵出口止回阀磨损或