FEI_quanta_250_F_省略_G环境扫描电镜灯丝更换及维护案例_刘婷婷

FEI_quanta_250_F_省略_G环境扫描电镜灯丝更换及维护案例_刘婷婷１６６Ｎｏ．５Ｓｅｐ．２０１８分析仪器ＡｎａｌｙｔｉｃａｌＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔａｔｉｏｎ２０１８年第５期基金项目：科技部国家重点研发计划（２０１７ＹＦＣ０２１１９０３）；２０１７年苏州市水利水务科技项目（２０１７００２）；２０１７苏州环保科技项目（Ｂ２０１７０１）。ＦＥＩｑｕａｎｔａ２５０ＦＥＧ环境扫描电镜灯丝更换及维护案例刘婷婷倪敏潘杨丁炜楠顾海东＊（苏州科技大学，江苏省环境科学与工程重点实验室，环境科学与工程学院，苏州２１５００９）摘要：记录ＦＥＩｑｕａｎｔａ２５０ＦＥＧ环境扫描电镜灯丝更换前后仪器状况，总结灯丝更换经验，以供使用同类电镜的同仁有所参考。关键词：环境扫描电镜灯丝维护保养ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１－２３２ｘ．２０１８．０５．０３７ＦＥＩｑｕａｎｔａ２５０ＦＥＧ扫描电镜具有高真空、低真空和环境真空３种真空模式，配有二次电子、背散射电子探头（ｅｖｅｒｈａｒｔｔｈｏｒｎｌｅｙｄｅｔｅｃｔｏｒ，ＥＴＤ），气体二次电子探头（ｇａｓｅｏｕｓｓｅｃｏｎｄａｒｙｅｌｅｃｔｒｏｎ，ＧＳＥＤ），大视场低真空二次电子探头（ｌａｒｇｅｆｉｅｌｄｄｅｔｅｃｔｏｒ，ＬＦＤ）等。安装有能谱仪（ｅｎｅｒｇｙｄｉｓｐｅｒ－ｓｉｖｅｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ，ＥＤＳ），通过模式和探头的调节，辅助喷金等提高导电性的样品制备手段，可广泛应用于絮状污泥、颗粒状污泥等环境样品，生物材料、纳米材料等其它样品的形貌及元素分析［１－３］。灯丝作为环境扫描电镜的重要部分之一，寿命受到镜筒真空度、灯丝电流密度、灯丝质量及样品性质等各方面因素的影响［４］。记录灯丝更换前后状态参数的变化，总结分析灯丝更换过程中所遇问题及原因，探讨延长仪器使用寿命的方法，以期为使用该类扫描电镜的同仁们提供一些参考。１灯丝更换ＦＥＩｑｕａｎｔａ２５０ＦＥＧ型环境扫描电镜灯丝是表面沉积有氧化锆的钨单晶，该灯丝电子束发射电流稳定且电流值较大，能够同时满足本型号电镜的３种真空模式及能谱仪的工作需求［５］。新灯丝发射电流约为７０～８０μＡ，在使用过程中电流值将会逐渐增大。持续工作约２２０００ｈ，灯丝电流的增幅明显提高。当灯丝电流增大至２７０～２８０μＡ时，测试过程中采集的图像，噪点明显增多，分辨率下降，像散严重，机器难以聚焦。继续使用，