集成电路芯片生产废水氨氮处理工艺-钟鸣

集成电路芯片生产废水氨氮处理工艺-钟鸣*2013年9月洁净与空调技术CC&AC第3期集成电路芯片生产废水氨氮处理工艺上海华虹-NEC电子有限公司动力部钟鸣*摘要介绍运用生化活性污泥工艺对集成电路芯片生产工厂的排水进行氨氮处理工艺及其运行管理。关键词氨氮排水；生化活性污泥系统；硝化；脱氮TheTreatmentofAmmoniaNitrogenEffluentDischargedfromICProductionZhongMingAbstractThetreatmentandoperationmanagementofammonianitrogeneffluentdischargedformICproductionbymeansofbiochemicalactivatedslurrywasexplained.KeywordsAmmonianitrogeneffluent;Biochemicalactivatedslurrysystem;Nitrofication;Denitrification钟鸣，男，1969年11月生,大学专科，工程师201203上海市浦东新区张江郭守敬路668号13601909095E-mail:zhongming@hhnec.com收稿日期：2012-06-150引言由于工农业的发展、人口增加及城市化水平不断加快，大量含氨氮（NH3-N）的生活污水和工业废水被排入天然水体中。存在于水中的NH3-N对人体和水生物均有一定的毒害作用，相关文献曾报道对鱼类的致毒剂量为2.6×10-2mg/L。氨氮还是高耗氧性物质，每毫克NH3-N氧化成NO3--N要消耗4.57mg的DO，较高的氨氮浓度会直接导致水质的黑臭。作为一种无机营养物质，NH3-N还是引起海洋、湖泊、河流及其它水体富营养化的重要原因。在集成电路芯片制造工厂中，氨氮废液的处理有两种方法：一种是吹脱法，将氨氮废液由氢氧化钠和硫酸经吹脱吸收成硫酸铵，处理后的废液再进入其他处理工艺，如氟处理工艺等，最终废液在处理达标后排放。但吹脱法处理氨氮废液所产生的硫酸铵，越来越受到国家的管控，对有资质的接受处理单位进行总量控制。这就造成集成电路工厂硫酸铵处理成本的大幅上升；另外一种方法就是采用生化活性污泥法进行处理。传统的硝化反硝化生物脱氨氮工艺是国内外采用最多、技术成熟的生物脱氨氮工艺。由于在集成电路芯片工厂中，